Efektor Hujung Seramik Alumina Ketulenan Tinggi untuk Robot Pengendalian Wafer

Efektor hujung seramik alumina St.Cera dimesin dengan tepat daripada 99.8% Al₂O₃ berketulenan tinggi menggunakan peralatan pengisaran CNC 5 paksi termaju. Keupayaan pembuatan kami termasuk mesin pengisaran tepat dan pusat pemesinan CNC, yang membolehkan geometri kompleks dengan ketepatan tinggi. Efektor hujung mempunyai profil nipis (senipis 1.5 mm) dengan tepi hadapan yang tirus untuk penyisipan wafer yang licin. Bahan ini memberikan kekakuan yang tinggi (modulus Young 380 GPa), rintangan haus yang sangat baik dan kestabilan haba sehingga 800°C. Setiap unit digiling dengan tepat untuk mencapai kerataan 0.003mm, paralelisme 0.002mm dan kemasan permukaan Ra0.1, memastikan sentuhan wafer yang konsisten dan operasi bebas zarah dalam persekitaran FAB semikonduktor. Tersedia dalam panjang dari 150 mm hingga 450 mm, dengan geometri hujung tersuai (cengkaman tepi, Bernoulli, rata) dan bebibir pelekap agar sesuai dengan robot OEM. Pilihan kemasan permukaan termasuk salutan lapped, digilap atau ESD dissipative coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Spesifikasi (berdasarkan 99.8% Al₂O₃& keupayaan pembuatan St.Cera):

Aplikasi:

• · Pemindahan wafer dalam robot vakum dan atmosfera
• · Efektor hujung automasi FAB untuk wafer 200mm/300mm
• · Pengendalian wafer nipis (dengan pilihan ESD)

Keupayaan Pembuatan:
Mesin pengisar jitu dan pusat pemesinan CNC kami membolehkan penghasilan komponen seramik kompleks dengan:

• · Panjang pemesinan maksimum: 1500mm
• · Diameter luar maksimum: 600mm
• · Diameter dalaman minimum: 0.2mm
• · Ketebalan maksimum: 100mm

Kawalan Kualiti:
Kelurusan 0.005mm, kepersegirekan 0.005mm, kebulatan 0.002mm, keselarian 0.002mm, kekonsentrisitan 0.01mm disahkan oleh CMM. Setiap unit dibersihkan secara ultrasonik dan dibungkus dalam bilik bersih Kelas 100.