Chuck Vakum Alumina untuk Pemotongan & Pengisaran Ketepatan
Chuck vakum alumina St.Cera dihasilkan daripada 99.8% Al₂O₃ berketulenan tinggi dengan alur vakum mesin yang tepat. Keupayaan pengisaran ketepatan kami mencapai kerataan 0.003mm dan selari 0.002mm, memastikan penetapan wafer bebas lungsin semasa pemotongan dadu, pengisaran bahagian belakang dan pemeriksaan. Bahan ini menawarkan kekuatan lenturan yang tinggi (361 MPa), kekerasan (16 GPa) dan kestabilan haba sehingga 800°C. Terdapat dalam format bulat sehingga diameter luar (OD) 600mm dan bentuk segi empat tepat sehingga panjang 1500mm. Alur vakum direka bentuk khas (corak sepusat, jejari atau grid) untuk memenuhi keperluan proses tertentu. Setiap chuck diperiksa dengan interferometer laser dan dibekalkan dengan laporan pengesahan kerataan.
Spesifikasi (berdasarkan 99.8% Al₂O₃& keupayaan pembuatan St.Cera):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan | 99.8% Alumina (Gading) |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Diameter Luar (maks) | 600mm |
| Ketebalan (maks) | 100mm |
| Panjang (maks) | 1500mm |
| Kerataan | 0.003mm |
| Paralelisme | 0.002mm |
| Kemasan Permukaan | Ra0.1 |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
Aplikasi:
- · Menghiris dan mencacah wafer (200mm/300mm dan lebih besar)
- · Pengisaran bahagian belakang wafer nipis
- · Pemeriksaan dan probing optik
- · Pengendalian substrat yang besar
Ketepatan Pembuatan:
- · Kelurusan: 0.005mm
- · Ketegak lurus: 0.005mm
- · Kebulatan: 0.002mm
- · Konsentrisiti: 0.01mm
