-
ST.CERA Peralatan semikonduktor tersuai Chuck seramik
Proses kritikal medan semikonduktor perlu dilakukan di bilik bersih, terutamanya bagi peranti yang harus digunakan di bawah keadaan suhu tinggi, vakum dan gas menghakis. Seramik boleh mengekalkan kestabilan yang tinggi dalam persekitaran fizikal dan kimia yang rumit.
-
ST.CERA Peralatan semikonduktor tersuai Plat seramik
Proses kritikal medan semikonduktor perlu dilakukan di bilik bersih, terutamanya bagi peranti yang harus digunakan di bawah keadaan suhu tinggi, vakum dan gas menghakis. Seramik boleh mengekalkan kestabilan yang tinggi dalam persekitaran fizikal dan kimia yang rumit.
-
Cincin fokus seramik semikonduktor ST.CERA tersuai
Proses kritikal medan semikonduktor perlu dilakukan di bilik bersih, terutamanya bagi peranti yang harus digunakan di bawah keadaan suhu tinggi, vakum dan gas menghakis. Seramik boleh mengekalkan kestabilan yang tinggi dalam persekitaran fizikal dan kimia yang rumit.
-
Lengan Pemuat Seramik Alumina 99.5% Tersuai ST.CERA
Lengan Pengendalian/Efektor Hujung Seramik dipasang pada robot pengendalian wafer atau "efektor hujung" dan digunakan untuk membawa wafer silikon masuk atau keluar dari kaset atau ruang proses.
Manfaat penggunaan seramik adalah pengurangan pesongan disebabkan oleh kekuatan lenturan yang tinggi, ketahanan terhadap suhu tinggi, dan penghapusan pencemaran dan zarah logam. -
Efektor Hujung Seramik Alumina Tersuai ST.CERA
ST.CERA menawarkan salutan ESD dan bahan seramik ESD. Efektor Hujung Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃.
-
Cincin Fokus Seramik Semikonduktor Tersuai ST.CERA
Diperbuat daripada seramik alumina berketulenan tinggi (melebihi 99.5%), dibentuk melalui penekanan isostatik sejuk dan disinter di bawah suhu tinggi, kemudian dimesin dan digilap dengan tepat, alat ganti seramik ini boleh memenuhi sebarang keperluan ketat peralatan semikonduktor dengan ciri-ciri rintangan haus, rintangan kakisan, pengembangan haba yang rendah dan penebat.
Dengan ciri-ciri rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan lelasan dan penebat, seramik boleh berfungsi dalam pelbagai jenis peralatan pengeluaran semikonduktor dengan keadaan suhu tinggi, vakum atau gas menghakis untuk masa yang lama.
Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃.
-
Sesendal Seramik Alumina Kepersisan Semikonduktor Tersuai ST.CERA
Diperbuat daripada seramik alumina berketulenan tinggi (melebihi 99.5%), dibentuk melalui penekanan isostatik sejuk dan disinter di bawah suhu tinggi, kemudian dimesin dan digilap dengan tepat, alat ganti seramik ini boleh memenuhi sebarang keperluan ketat peralatan semikonduktor dengan ciri-ciri rintangan haus, rintangan kakisan, pengembangan haba yang rendah dan penebat.
Dengan ciri-ciri rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan lelasan dan penebat, seramik boleh berfungsi dalam pelbagai jenis peralatan pengeluaran semikonduktor dengan keadaan suhu tinggi, vakum atau gas menghakis untuk masa yang lama.
Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃.
-
Pengesan Hujung Vakum Seramik Alumina Tersuai ST.CERA
Ini ialah Efektor/Lengan Pengendalian Hujung seramik jenis dulang yang digunakan di bawah keadaan vakum.
Lengan Efektor / Pengendalian Hujung Seramik “lebih tahan haba”, “kurang pesongan” dan “lebih ringan” berbanding dengan yang diperbuat daripada logam.
Dengan ciri-ciri rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan lelasan dan penebat, seramik boleh berfungsi dalam pelbagai jenis peralatan pengeluaran semikonduktor dengan keadaan suhu tinggi, vakum atau gas menghakis untuk masa yang lama.
Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃.
-
Tiub Seramik dan Rod Seramik Alumina 99.5% Tersuai ST.CERA
Dengan ciri-ciri rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan lelasan dan penebat, seramik boleh berfungsi dalam pelbagai jenis peralatan pengeluaran semikonduktor dengan keadaan suhu tinggi, vakum atau gas menghakis untuk masa yang lama.
Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃.
-
Pengendalian Wafer Efektor Hujung Seramik Alumina Tersuai ST.CERA
ST.CERA menawarkan salutan ESD dan bahan seramik ESD End Effector/Manual Arm dengan saluran berongga terbina dalam. Kami pakar dalam teknik yang membentuk saluran udara vakum di dalam sekeping bahan tanpa menggunakan pelekat.
Tiada risiko bahan cemar, gas keluar atau zarah. Lengan Pengendali/Efektor Hujung Vakum ST.CERA dengan teknologi salutan khas adalah bertebat elektrik. Kami juga boleh menyediakan bahan seramik ESD yang bertebat elektrik tanpa sebarang salutan.
Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃. -
Komponen Peralatan Semikonduktor Efektor Hujung Seramik Alumina
Cegah zarah-zarah yang boleh terhasil daripada tepi serong atau bersudut dan permukaan belakang semasa wafer diangkut atau bersentuhan dengan End Effector / Handling Arm.
Untuk panduan, bahan lembut yang tidak merosakkan wafer telah digunakan.
Penipisan boleh dilakukan dengan teknologi saluran vakum terbina dalam ST.CERA yang tidak menggunakan pelekat.
Lubang pelekap dan perubahan panjang serta lebar tapak tempat End Effector / Handling Arm dipasang pada robot boleh dibuat.
Sensor pemasangan, skru dan pendakap tersedia sebagai pilihan.
Direka untuk digunakan dalam atmosfera.
-
Pemesinan CNC Tersuai untuk Efektor Hujung Seramik St.Cera
ST.CERA menawarkan Efektor/Lengan Pengendalian Hujung seramik vakum dengan saluran berongga terbina dalam. Kami pakar dalam teknik yang membentuk saluran udara vakum di dalam sekeping bahan tanpa menggunakan pelekat.
Tiada risiko bahan cemar, gas keluar atau zarah. Pengesan/Lengan Pengendalian Hujung vakum ST.CERA dengan saluran terbina dalam adalah tahan lama dan boleh digunakan pada suhu tinggi. Selain itu, kos pengeluaran kami dapat dikurangkan dengan menghapuskan pemasangan yang tidak perlu.
Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃.
