Diperbuat daripada seramik alumina berketulenan tinggi (melebihi 99.5%), dibentuk melalui penekanan isostatik sejuk dan disinter di bawah suhu tinggi, kemudian dimesin dan digilap dengan tepat, alat ganti seramik ini boleh memenuhi sebarang keperluan ketat peralatan semikonduktor dengan ciri-ciri rintangan haus, rintangan kakisan, pengembangan haba yang rendah dan penebat.
Dengan ciri-ciri rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan lelasan dan penebat, seramik boleh berfungsi dalam pelbagai jenis peralatan pengeluaran semikonduktor dengan keadaan suhu tinggi, vakum atau gas menghakis untuk masa yang lama.
Diperbuat daripada serbuk alumina berketulenan tinggi, diproses melalui penekanan isostatik sejuk, pensinteran suhu tinggi dan kemasan ketepatan, ia boleh mencapai toleransi dimensi hingga ±0.001 mm, kemasan permukaan Ra 0.1, rintangan suhu 1600℃.
