Cincin Fokus Kebuk Alumina Ketulenan Tinggi untuk Sistem Etsa Plasma & CVD

Cincin fokus ruang St.Cera ialah komponen kit proses kritikal yang digunakan dalam peralatan semikonduktor etsa plasma, CVD dan PVD. Diperbuat daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃), cincin ini mengelilingi tepi wafer untuk mengurung plasma dan mengoptimumkan taburan sudut ion, sekali gus meningkatkan keseragaman etsa merentasi permukaan wafer. Bahan ini menawarkan rintangan plasma yang luar biasa, kekuatan dielektrik yang tinggi (15×10⁶ V/m), dan kestabilan haba sehingga 1600°C, memastikan kebolehpercayaan jangka panjang dalam persekitaran plasma berasaskan fluorin atau klorin yang agresif. ID/OD dan kerataan pembumian ketepatan (≤10 μm) membolehkan kedudukan tepi wafer yang tepat, mengurangkan kecacatan tepi dan penjanaan zarah.

Spesifikasi(berdasarkan 99.8% Al₂O₃):

Aplikasi:

• · Cincin fokus ruang etsa dielektrik (etsa oksida, nitrida)
• · Cincin tepi ruang etsa silikon
• · Cincin kit proses ruang CVD
• · Perisai ruang PVD dan cincin pengapit

Proses Pembuatan:

Serbuk alumina berketulenan tinggi ditekan secara isostatik → dimesin hijau kepada bentuk hampir bersih → disinter pada 1600°C → Pengisaran berlian CNC ID, OD dan ketebalan → lapping untuk mencapai kerataan ≤10 μm → pembersihan ultrasonik → pemeriksaan 100% CMM. Kemasan permukaan Ra ≤0.4 μm meminimumkan lekatan zarah.

Kawalan Kualiti:

• · Pemeriksaan dimensi 100% (ID, OD, ketebalan, paralelisme)
• · Ujian penembusan pewarna untuk mikro-rekahan (rekahan tidak dibenarkan)
• · Pemeriksaan visual di bawah mikroskop 20× — tiada serpihan, lompang atau perubahan warna
• · Ujian kekuatan dielektrik mengikut ASTM D149 (pensampelan)

Kelebihan berbanding Cincin Fokus Silikon atau Kuarza:

• · Jangka hayat 5–10× lebih lama dalam plasma fluorokarbon
• · Tiada zarah hakisan yang boleh dimakan untuk mencemari wafer
• · Kekuatan dielektrik yang lebih tinggi menghalang arka
• · Mengekalkan kerataan dan ketepatan dimensi selama ribuan jam RF

Bahan Alternatif — Zirkonia yang Distabilkan Yttria (ZrO₂):

Untuk aplikasi yang memerlukan ketahanan patah yang lebih tinggi (contohnya, ruang dengan kitaran haba yang kerap atau kejutan mekanikal), cincin fokus ZrO₂ (ketumpatan 6.03 g/cm³, kekuatan lenturan 1000 MPa, ketahanan patah 5–8 MPa·m¹/²) boleh didapati. Walau bagaimanapun, alumina menawarkan keberkesanan kos yang lebih baik dan merupakan piawaian industri untuk kebanyakan aplikasi cincin fokus.

Penyesuaian:

• · Profil langkah, lubang kaunter atau lubang pelekap setiap lukisan pelanggan
• · Salutan Y₂O₃ untuk rintangan hakisan plasma yang dipertingkatkan (ketebalan 20–100 μm)
• · Penandaan laser pada nombor bahagian, kod tarikh atau tanda penjajaran

Nota:Semua data mematuhi jadual sifat Al₂O₃ yang dibekalkan dengan ketat. Untuk spesifikasi ZrO₂, rujuk helaian data zirkonia yang dibekalkan. Reka bentuk cincin fokus mungkin memerlukan pelepasan paten — pelanggan bertanggungjawab untuk mengesahkan hak harta intelek.