Cincin Meterai Seramik Alumina Ketulenan Tinggi untuk Pengedap Ruang Suhu Tinggi

Cincin pengedap seramik St.Cera direka bentuk sebagai alternatif kepada cincin-O polimer dalam persekitaran ekstrem di mana elastomer terdegradasi. Diperbuat daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃), cincin pengedap tegar ini digunakan dalam aplikasi pengedap statik — biasanya dipasangkan dengan logam lembut atau gasket grafit — untuk menyediakan pembendungan vakum atau gas yang boleh dipercayai pada suhu sehingga 800°C dan dalam persekitaran plasma atau kimia yang agresif. Bahan ini menawarkan sifar gas keluar, kekuatan mampatan yang tinggi (kekuatan lenturan asas 361 MPa), dan inert kimia (tahan terhadap halogen, asid dan alkali kecuali HF). Permukaan pengedap yang dilekatkan dengan ketepatan (kerataan ≤5 μm, kekasaran permukaan Ra ≤0.2 μm) memastikan sentuhan kedap bocor dengan komponen logam atau seramik yang sepadan.

Spesifikasi(berdasarkan 99.8% Al₂O₃):

Aplikasi:

• · Pengedap statik ruang proses semikonduktor (CVD, PVD, etsa)
• · Pengedap pintu relau suhu tinggi
• · Bebibir suapan vakum
• · Penutupan bekas reaktor kimia

Proses Pembuatan:

Penekanan isostatik → pensinteran pada 1600°C → pengedapan dua sisi yang tepat untuk mencapai permukaan pengedap ultra rata dan licin → serong tepi → pembersihan ultrasonik. Setiap cincin diuji kebocoran 100% pada pengesan kebocoran helium dengan gasket logam standard.

Kawalan Kualiti:

• · Pemeriksaan dimensi CMM (ID, OD, ketebalan, keselarian)
• · Profilometer permukaan untuk Ra dan kealunan
• · Pengukuran kerataan menggunakan rata optik
• · Ujian kebocoran helium (kaedah tekanan balik)

Kelebihan berbanding cincin-O Polimer:

• · Menahan 800°C lwn. <300°C untuk FFKM
• · Sifar pengeluaran gas — tiada pencemaran persekitaran vakum
• · Tahan terhadap semua kimia plasma (fluorin, klorin, oksigen)
• · Tiada set mampatan atau ubah bentuk kekal
• · Hayat perkhidmatan tanpa had dalam persekitaran yang bersih

Had (Catatan Kritikal):

• · Bukan cincin-O— ia merupakan cincin seramik tegar yang memerlukan gasket lembut (kuprum, aluminium atau grafit) untuk menutupnya.
• · Tidak menampung gerakan dinamik atau ketidaksejajaran bebibir yang besar.
• · Kos permulaan yang lebih tinggi daripada cincin-O polimer, tetapi jangka hayat yang lebih lama mengurangkan kos pemilikan.
• · Rapuh — kendalikan dengan berhati-hati; elakkan hentaman titik atau tekanan lenturan.

Nota:Data di atas mengikut jadual sifat Al₂O₃ yang dibekalkan. Tiada data untuk bahan elastomer diberikan. Produk ini ialah cincin pengedap statik, bukan cincin-O elastomer. Sila sahkan sama ada ini memenuhi keperluan aplikasi anda.