Bahagian Seramik Alumina Selamat ESD untuk Pengendalian Wafer Sensitif Statik
Bahagian seramik alumina selamat ESD (penyalaan elektrostatik) St.Cera dihasilkan daripada 99.8% Al₂O₃ berketulenan tinggi dengan kerintangan permukaan tersuai 10⁶–10⁹ Ω/sq, dicapai melalui proses doping atau salutan proprietari. Bahagian-bahagian ini berkesan menghilangkan cas statik, mencegah kerosakan elektrostatik pada wafer dan peranti semikonduktor sensitif. Bahan asas mengekalkan kekuatan lenturan yang tinggi (361 MPa), kekerasan (16 GPa), dan kekuatan dielektrik (15×10⁶ V/m). Bahagian seramik selamat ESD termasuk efektor hujung, pin angkat, rel panduan dan lekapan tersuai untuk automasi FAB.
Spesifikasi(berdasarkan 99.8% Al₂O₃ dengan rawatan ESD):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan Asas | 99.8% Alumina |
| Kerintangan Permukaan (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/persegi |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Pengembangan Terma (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
| Kekuatan Dielektrik (pukal) | 15×10⁶ V/m |
Nota: Kerintangan permukaan ESD tidak diberikan dalam jadual sifat bahan yang dibekalkan. Julat di atas adalah piawaian industri untuk seramik disipatif. Sila hubungi kami untuk laporan ujian.
Aplikasi:
● Efektor hujung selamat ESD untuk pemindahan wafer
● Pin pembumian dan lekapan ESD dalam peralatan FAB
● Soket ujian untuk peranti sensitif statik
● Peralatan bilik bersih yang mana kawalan statik adalah penting
Pembuatan & Kualiti:
Pemprosesan alumina standard + rawatan permukaan ESD → kerintangan permukaan diukur mengikut ANSI/ESD STM11.11. Setiap bahagian diuji 100% dengan elektrod cincin sepusat.
Kelebihan:
● Mencegah kehilangan hasil berkaitan ESD
● Mengekalkan kekuatan mekanikal dan rintangan kimia seramik
● Tiada penjanaan zarah daripada nyahcas statik
