Pengesan Hujung Seramik Alumina dengan Saluran Vakum Bersepadu
Efektor hujung vakum alumina St.Cera mengintegrasikan saluran vakum mesin jitu dan lubang sedutan terus ke dalam badan alumina ketulenan tinggi 99.8%. Reka bentuk ini menghapuskan pad vakum luaran, membolehkan pengambilan wafer langsung dengan daya pegangan seragam. Kekuatan lenturan bahan yang tinggi (361 MPa) dan kekerasan (16 GPa) memastikan kestabilan dimensi jangka panjang di bawah kitaran vakum berulang. Kerataan merentasi kawasan pad dikekalkan dalam lingkungan 10 μm, mencegah tekanan wafer dan kerosakan. Port vakum terletak pada bebibir pelekap belakang untuk penyepaduan mudah dengan lengan robot OEM.
Spesifikasi(berdasarkan 99.8% Al₂O₃):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan | 99.8% Alumina (Gading) |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Pengembangan Terma | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kerataan Pad | ≤10 μm |
| Lebar Saluran Vakum | 0.5–2.0 mm |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
Aplikasi:
● Pengambilan vakum wafer nipis atau melengkung
● Pengendalian wafer terus tanpa cengkaman tepi
● Pemindahan substrat sel solar dan LED
Pembuatan:
Alumina kosong sinter → Penggerudian CNC 5 paksi untuk saluran dan lubang vakum → pengedap permukaan → pembersihan ultrasonik → ujian kebocoran helium. Setiap efektor diuji aliran 100% untuk keseragaman vakum.
Kelebihan:
● Tiada pad vakum luaran (mengurangkan sumber zarah)
● Tekanan pegangan seragam menghalang penandaan wafer
● Lengai secara kimia dan serasi dengan bilik bersih
