Chuck Vakum Standard Berasaskan Alumina – Ketegaran Tinggi untuk Pemesinan Ketepatan
Chuck vakum berasaskan alumina ini dihasilkan daripada 99.8% Al₂O₃, menawarkan permukaan licin dan tidak berliang dengan corak alur vakum tersuai. Ia memberikan ketegaran yang luar biasa (modulus Young 380 GPa) dan kerataan (≤3 μm), menjadikannya sesuai untuk pengisaran, pemotongan dan pemotongan dadu wafer semikonduktor dan komponen optik yang tepat. Kekonduksian terma bahan yang tinggi (32 W/m·k) memastikan keseragaman suhu semasa pemprosesan.
Spesifikasi(berdasarkan 99.8% Al₂O₃):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan | 99.8% Alumina (Gading) |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Kekonduksian Terma | 32 W/m·k |
| Kerataan | ≤3 μm (melebihi 200mm) |
| Kekasaran Permukaan (bahagian chuck) | Ra ≤0.4 μm |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
Aplikasi:
- · Pengisaran bahagian belakang wafer (kasar dan halus)
- · Pemotongan bahan rapuh dengan tepat
- · Pengisaran substrat seramik
- · Penggilapan kanta optik
Pembuatan:
Pengisaran ketepatan kedua-dua belah → alur berlian (pilihan) → pembundaran tepi → pembersihan ultrasonik → pemeriksaan kerataan 100% dengan interferometer laser.
Akelebihan:
- · Sokongan tegar meminimumkan pesongan di bawah beban
- · Tiada penjanaan zarah daripada struktur berliang
- · Mudah dibersihkan (serasi dengan pelarut)
- · Alur vakum boleh disesuaikan (sepusat, jejari, corak tersuai)
Saiz yang Tersedia:
Bulat: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; segi empat sama/segi empat tepat atas permintaan.
Kami juga menawarkan versi berasaskan logam untuk kekuatan mekanikal yang lebih tinggi.
