Teras Seramik Alumina Ketulenan Tinggi untuk Lekapan Semikonduktor
Teras seramik alumina St.Cera dibentuk dengan ketepatan daripada 99.8% Al₂O₃ berketulenan tinggi, menawarkan kekuatan dielektrik yang luar biasa (15×10⁶ V/m), kestabilan haba sehingga 1600°C dan rintangan rayapan di bawah beban. Teras ini digunakan sebagai komponen struktur dalam lekapan proses suhu tinggi, tapak pemanas, pelapik ruang plasma dan penebat elektrik. Kekerasan bahan yang tinggi (16 GPa) dan penyerapan air yang rendah (0%) memastikan kebolehpercayaan jangka panjang dalam persekitaran yang keras.
Spesifikasi(berdasarkan 99.8% Al₂O₃):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan | 99.8% Alumina (Gading) |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Ketangguhan Patah | 3–4 MPa·m¹/² |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Kekonduksian Terma | 32 W/m·k |
| Pengembangan Terma (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Rintangan Khusus | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Suhu Operasi Maksimum | 1600°C |
Aplikasi:
- · Teras pemanas untuk reaktor epitaksi
- · Pelapik dan plat penutup ruang plasma
- · Penebat elektrik voltan tinggi
- · Tapak lekapan untuk robot pengendalian wafer
Pembuatan:
Penekanan isostatik → pemesinan hijau → pensinteran pada 1600°C → Pengisaran CNC hingga dimensi akhir (toleransi ±0.01 mm). Setiap teras diperiksa oleh CMM dan pengesanan kecacatan ultrasonik.
Jaminan Kualiti:
Diperakui ISO 9001:2015. Ujian penembusan pewarna untuk retakan permukaan; ujian kekuatan dielektrik mengikut ASTM D149.
AKelebihan berbanding seramik lain:
- · Kekuatan dielektrik yang lebih tinggi daripada zirkonia (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Kos lebih rendah daripada SiC untuk aplikasi bukan plasma
- · Rintangan kimia yang sangat baik terhadap halogen (kecuali HF)
Bentuk Tersuai:
Silinder, bar segi empat sama, plat atau geometri kompleks. Saiz ciri minimum 0.5 mm.
Hubungi kami untuk reka bentuk teras tersuai dan sokongan simulasi terma.
