Efektor Hujung Seramik Silikon Karbida (SiC) – Kekakuan Tinggi untuk Pengendalian Wafer Suhu Tinggi
Efektor hujung seramik SiC St.Cera dihasilkan daripada silikon karbida berketulenan tinggi (kandungan SiC 99.72%, Si bebas 0.05%) menggunakan bahan kelompok S1111. Ia menawarkan sifat mekanikal yang luar biasa: kekuatan lenturan 449 MPa (diukur), modulus elastik 457 GPa (diukur), dan kekerasan Vickers 25–28 GPa (tipikal). Ketumpatan rendah (3.10–3.15 g/cm³, tipikal) memberikan kekakuan khusus yang tinggi, sesuai untuk robot pemindahan wafer berkelajuan tinggi. Dengan kekonduksian terma 120–150 W/m·K (tipikal) dan pekali pengembangan terma 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipikal), efektor hujung ini berkesan menghilangkan haba dan mengekalkan kestabilan dimensi semasa pengendalian suhu tinggi (sehingga 1600–1700°C, tanpa beban). Warna hitam/kelabu dan penyerapan air sifar memastikan keserasian bilik bersih.
Spesifikasi(berdasarkan laporan ujian SiC S1111 yang dibekalkan & nilai tipikal):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Bebas) |
| Warna | Hitam/Kelabu |
| Ketumpatan | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Penyerapan Air | 0% |
| Kekuatan Fleksibel | 449 MPa (purata) |
| Ketangguhan Patah | 3.12 MPa·m¹/² (purata) |
| Modulus Elastik | 457 GPa |
| Kekerasan Vickers | 25–28 GPa |
| Kekonduksian Terma (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Penggunaan Maksimum (tiada beban) | 1600–1700°C |
Aplikasi:
● Pengendalian wafer suhu tinggi (pasca-anil, RTP, epitaksi)
● Ruang etsa plasma yang memerlukan rintangan hakisan yang tinggi
● Robot pemindahan berkelajuan tinggi (ringan, kekakuan tinggi)
Pembuatan:
Pensinteran serbuk SiC → pengisaran CNC ketepatan profil lengan dan ciri pelekap → pengedap permukaan → pembersihan ultrasonik. Pemeriksaan dimensi 100% dan ujian kebocoran helium untuk aplikasi vakum.
Kawalan Kualiti:
● Pemeriksaan CMM untuk panjang, lebar dan kerataan
● Ujian kekuatan lenturan setiap kelompok (mengikut piawaian laporan ujian)
● Pemeriksaan visual di bawah mikroskop untuk kecacatan permukaan
Kelebihan berbanding Alumina atau Logam:
● 2× modulus elastik yang lebih tinggi (457 vs ~380 GPa untuk alumina) – kurang pesongan
● Kekonduksian terma 3× lebih tinggi – pelesapan haba yang lebih pantas
● Tahan suhu >1600°C berbanding alumina 800°C di udara
● Ketumpatan lebih rendah daripada keluli – pengurangan berat 40%
Penyesuaian:
Panjang 150–450 mm, bentuk hujung (cengkaman tepi, Bernoulli, rata), corak bebibir pelekap setiap lukisan OEM.
*Semua data mekanikal di atas datang daripada laporan ujian yang dibekalkan (kelompok S1111). Nilai terma dan kekerasan adalah tipikal untuk gred SiC ini; sila hubungi kami untuk pensijilan khusus lot.*
