Lengan Robot Seramik Alumina Ketulenan Tinggi untuk Pengendalian Wafer
Lengan robot seramik alumina St.Cera direka bentuk dengan ketepatan daripada 99.8% Al₂O₃ (alumina) berketulenan tinggi. Ia menggabungkan kekuatan lenturan yang luar biasa (361 MPa), kekerasan tinggi (16 GPa), dan ketumpatan rendah (3.93 g/cm³), menghasilkan lengan yang ringan namun tegar untuk pemindahan wafer semikonduktor. Pekali pengembangan haba bahan (7.2×10⁻⁶/°C) sepadan dengan silikon, meminimumkan ketidakpadanan haba semasa pemprosesan.
Spesifikasi (berdasarkan 99.8% Al₂O₃):
| Hartanah | Nilai |
| Warna | Gading |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Kekonduksian Terma | 32 W/m·k |
| Pengembangan Terma | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
- Robot pemindahan wafer vakum (200mm/300mm)
- Sistem pengendalian atmosfera
- Lengan efektor hujung untuk automasi FAB
Proses Pembuatan:
Penekanan isostatik → pemesinan hijau → pensinteran pada 1600°C → Pengisaran ketepatan CNC → pembersihan ultrasonik → Pembungkusan bilik bersih Kelas 100. Setiap lengan diperiksa 100% oleh CMM untuk kerataan (±0.01 mm) dan kekasaran permukaan (Ra ≤0.4 μm).
Kawalan Kualiti:
St.Cera diperakui ISO 9001:2015. Kami menjalankan ujian penembusan pewarna untuk rekahan mikro, lenturan tiga titik untuk kekuatan lenturan dan ujian kekuatan dielektrik mengikut ASTM D149.
Kelebihan berbanding Lengan Logam:
- 50% lebih ringan daripada keluli tahan karat
- Tiada kakisan galvanik
- Penjanaan zarah yang lebih rendah (≤0.05 zarah/cm²)
- Salutan selamat ESD tersedia (10⁶–10⁹ Ω/persegi)
Penyesuaian:
Panjang dari 150mm hingga 450mm, bentuk hujung (cengkaman tepi, Bernoulli, vakum) dan corak bebibir pelekap mengikut lukisan OEM. Prototaip dalam 2 minggu.
Untuk pesanan pukal, sila minta sebut harga.
