Plat Seramik Alumina Format Besar untuk Perlengkapan Semikonduktor & Perindustrian
St.Cera mengeluarkan plat seramik format besar daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) dengan dimensi maksimum sehingga 1500mm panjang dan 600mm lebar. Keupayaan pengisaran ketepatan kami mencapai kerataan 0.003mm berbanding 100mm dan selari 0.002mm, memastikan kualiti permukaan yang konsisten untuk aplikasi kawasan besar. Ketebalan sehingga 100mm, kemasan permukaan sehingga Ra0.1. Plat ini berfungsi sebagai tapak chuck vakum, plat pemanas, panel penebat elektrik dan lantai ruang proses dalam pembuatan semikonduktor, paparan dan fotovoltaik. Lubang tembus, lubang balas dan profil tepi tersedia.
Spesifikasi (berdasarkan 99.8% Al₂O₃& keupayaan pembuatan St.Cera):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan | 99.8% Alumina (Gading) |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Panjang Maksimum | 1500mm |
| Lebar Maksimum | 600mm |
| Ketebalan Maksimum | 100mm |
| Kerataan (setiap 100mm) | 0.003mm |
| Paralelisme | 0.002mm |
| Kemasan Permukaan | Ra0.1 (dilipat/digilap) |
| Suhu Operasi Maksimum | 1600°C |
Aplikasi:
- · Plat tapak chuck vakum untuk wafer dan panel besar
- · Plat pemanas untuk peralatan pemprosesan terma
- · Panel penebat elektrik dalam sistem voltan tinggi
- · Lantai ruang proses dan plat pelapik
Ketepatan Pembuatan:
Kelurusan: 0.005mm, ketertegak lurus: 0.005mm, disahkan dengan interferometer laser.
Kelebihan berbanding Plat Logam:
- · Tiada pencemaran logam – penting untuk proses semikonduktor
- · Sifar pengeluaran gas – sesuai untuk persekitaran vakum
- · Rintangan haus dan kimia yang unggul
Penyesuaian:
Corak lubang tersuai, profil tepi, permukaan bertingkat dan kawasan pelekap logam tersedia.
