Cincin Penebat PVD Alumina untuk Sistem Pemendapan Wap Fizikal
Cincin penebat PVD St.Cera dihasilkan daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) untuk digunakan dalam sistem pemendapan wap fizikal (PVD). Cincin ini menyediakan pengasingan elektrik antara komponen ruang, mencegah arka dan memastikan operasi plasma yang stabil. Ciri-ciri utama termasuk kekuatan dielektrik yang tinggi (15×10⁶ V/m), rintangan khusus >10¹⁴ Ω·mm²/m, dan kestabilan haba sehingga 1600°C. Keupayaan pemesinan ketepatan kami mencapai diameter luar sehingga 600mm, diameter dalam sehingga 0.2mm, kerataan 0.003mm, dan kemasan permukaan Ra0.1. Keliangan sifar dan inert kimia cincin memastikan kebolehpercayaan jangka panjang dalam persekitaran percikan yang agresif.
Spesifikasi (berdasarkan 99.8% Al₂O₃& keupayaan pembuatan St.Cera):
| Hartanah | Nilai |
| Bahan | 99.8% Alumina (Gading) |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Rintangan Khusus | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Diameter Luar Maks | 600mm |
| Diameter Dalaman Min | 0.2mm |
| Ketebalan Maksimum | 100mm |
| Kerataan | 0.003mm |
| Paralelisme | 0.002mm |
| Kemasan Permukaan | Ra0.1 |
| Suhu Operasi Maksimum | 1600°C |
Aplikasi:
- · Penebat plat sokongan sasaran dalam sistem PVD
- · Penebat suapan ruang
- · Penebat cincin perisai dalam sistem percikan
- · Pengasingan voltan tinggi dalam ruang plasma
Ketepatan Pembuatan:
Konsentrisiti: 0.01mm, kebulatan: 0.002mm, kelurusan: 0.005mm, ketertegak lurus: 0.005mm, disahkan oleh CMM.
AKelebihan berbanding Penebat Polimer:
- · Tahan suhu 1600°C berbanding had polimer <300°C
- · Tiada pengeluaran gas – mengekalkan integriti vakum
- · Menentang hakisan plasma dan serangan kimia
Penyesuaian:
Keratan rentas tersuai, ciri pemasangan, profil langkah dan pelbagai reka bentuk cincin sepusat tersedia.
