Chuck Vakum Alumina 12-Inci untuk Pemprosesan Wafer 300mm
Chuck vakum 12 inci St.Cera direka bentuk dengan tepat daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) untuk pengendalian wafer 300mm. Chuck ini mempunyai permukaan beralur halus (lebar alur 0.5–1.0 mm, pic 2–3 mm) untuk memastikan pengagihan vakum yang seragam merentasi keseluruhan diameter 300mm. Kerataan dikekalkan dalam lingkungan 5 μm, membolehkan penetapan wafer bebas meleding semasa pemotongan dadu, pengisaran bahagian belakang dan pemeriksaan. Kekuatan lenturan bahan yang tinggi (361 MPa) dan kekerasan (16 GPa) menjamin kestabilan dimensi jangka panjang walaupun di bawah kitaran vakum berulang.
Spesifikasi (berdasarkan 99.8% Al₂O₃):
| Hartanah | Nilai |
| Diameter | 300 mm (12 inci) |
| Bahan | 99.8% Alumina (Gading) |
| Ketumpatan | 3.93 g/cm³ |
| Kekuatan Fleksibel | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kerataan (melebihi 300mm) | ≤5 µm |
| Lebar Alur | 0.5–1.0 mm |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
Memotong dan mengukir wafer 300mm
Pengisaran bahagian belakang wafer (sokongan wafer nipis)
Pemeriksaan dan probing optik
Chuck pengikat/penyahikat sementara
Pembuatan:
Dikisar CNC dan dilekatkan sehingga rata, beralur dengan roda berlian, dibersihkan secara ultrasonik dan dibungkus dalam bilik bersih Kelas 100. Setiap chuck diperiksa 100% untuk kerataan (interferometer laser) dan kedalaman alur (profilometer).
Kelebihan:
Penjanaan zarah yang rendah (≤0.05 zarah/cm²)
Lengai secara kimia terhadap pelarut dan asid
Permukaan selamat ESD (rintangan >10¹³ Ω·cm)
Corak lubang vakum tersuai dan port belakang tersedia.
