Dengan ciri-ciri rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan lelasan dan penebat, seramik boleh berfungsi dalam pelbagai jenis peralatan pengeluaran semikonduktor dengan keadaan suhu tinggi, vakum atau gas menghakis untuk masa yang lama.
Ini ialah Pengesan Akhir / Lengan Pengendali seramik jenis dulang yang digunakan dalam keadaan vakum.
Pengesan Akhir / Lengan Pengendali Seramik adalah "lebih tahan haba", "kurang deflektif", dan "lebih ringan" dalam berat berbanding dengan logam.
Sebagai pengeluar terkemuka bagi End Effector / Handling Arm seramik, kami telah membangunkan End Effector / Handling Arm bukan konvensional yang bertindak balas kepada keperluan pasaran tersebut.Pengesan Akhir / Lengan Pengendalian seramik berasaskan Prinsip Bernoulli yang boleh melayang dan mengangkut wafer melalui aliran udara dengan sentuhan persisian yang minimum.